重大突破！芯片光刻胶关键技术被攻克：原材料全部国产 配方全自主设计
发布时间：2024-12-29 12:10:10 作者：玩站小弟 
我要评论
我要评论快科技10月25日消息，据华中科技大学官微消息，近日，该校武汉光电国家研究中心团队，在国内率先攻克合成光刻胶所需的原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。据介绍，其研发的T150A光刻胶系列产
。
快科技10月25日消息，重大自主据华中科技大学官微消息，突破近日，芯片该校武汉光电国家研究中心团队，光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计
据介绍，原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品，已通过半导体工艺量产验证，部国实现了原材料全部国产，产配配方全自主设计，重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破
公开资料显示，芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料，用于芯片制造的胶关键技光刻环节，工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时，会在晶圆上涂上光刻胶，在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光，经过一系列处理后，晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料，国外企业对其原料和配方高度保密，目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品，T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm，且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优，其对刻蚀工艺表现更好，通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀，下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示：“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点，最终获得具有自主知识产权的配方技术，这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶，致力于突破国外卡脖子关键技术，为国内相关产业带来更多惊喜。”
相关文章
快科技11月1日消息，易车榜今日公布了1-9月份全球新能源品牌销量榜Top20。榜单显示，今年前9月，比亚迪全球销量为250.23万辆，为全球新能源销冠，并且断档式领先其它车企。美国车企特斯拉以1242024-12-29
北京时间11月9日1时50分，SpaceX的龙飞船首次为国际空间站进行轨道提升。当时，龙飞船的天龙发动机(Draco)持续点火长达约12分30秒，之后国际空间站轨道的远地点提升了112米，近地点则提升2024-12-29
2024接近尾声，众多高品质影视剧在今年纷纷现象级刷屏。时隔多年与观众重逢的口碑佳作《庆余年第二季》《白夜破晓》一上线就引发热议，年代剧《小巷人家》吸引一众90后、00后们了解父母辈的青春与成长，近期2024-12-29
中国10月销量最高车型出炉：比亚迪霸占前4 小米SU7排第25名
快科技11月11日消息，根据乘联会的数据，10月份全国乘用车厂商的批发量达到了273.2万辆，同比增长11.5%，环比增长9.1%，创下了历年各月的最高纪录。在新能源汽车领域，10月的批发销量达到了12024-12-29
全球首发A725全大核架构！联发科天玑8400性能超越骁龙8 Gen2
快科技11月1日消息，博主数码闲聊站曝光了联发科天玑8400芯片的部分参数，这款芯片将采用台积电4nm工艺，并全球首发Cortex-A725全大核架构，性能表现相当亮眼。资料显示，Cortex-A722024-12-29
新酷产品第一时间免费试玩，还有众多优质达人分享独到生活经验，快来新浪众测，体验各领域最前沿、最有趣、最好玩的产品吧~！下载客户端还能获得专享福利哦！近日，网络上曝光了一组全新奥迪A7 allroad的2024-12-29
最新评论